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第三章 用户需求书

四、技术要求

1.1样品架系统

★1.1.1可容纳数量大于或等于4个，尺寸大于或等于32mm*32mm的蒸镀基片。

1.1样品架系统

★1.1.1可容纳数量大于或等于4个，尺寸大于或等于32mm*32mm的蒸镀基片，膜厚均匀性误差≤±2%

1.2蒸发沉积系统

★1.2.1 蒸发沉积系统≥16组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有隔板，防止源与源之间的污染和温度影响；

1.2蒸发沉积系统

★1.2.1 蒸发沉积系统≥16组蒸发源，每个源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有隔板，防止源与源之间的污染和温度影响；

▲1.2.5石英晶振探头≥5个，采用的膜厚仪可同时显示≥5个膜厚探头的读数

▲1.2.5石英晶振探头≥5个，采用的膜厚仪可同时显示≥5个膜厚探头的读数，速率稳定性误差≤±2%

★1.3.5极限真空度≤4*10-5Pa

★1.3.5极限真空度≤2.5*10-5Pa

▲1.3.6从101Kpa到5×10-4Pa≤20min（充氮气保护，从手套箱内操作）。

▲1.3.6从101Kpa到3×10-4Pa≤10min（充氮气保护，从手套箱内操作）。

1.5手套箱系统

★1.5.1可得气体纯度：水≤1ppm，氧≤1ppm，泄露率≤0.001vol%/h。

1.5手套箱系统

1.5.1箱体材料：304 不锈钢，厚度≥3mm；设备尺寸：长度≥5600mm，深度≥750mm，高度≥900mm。

1.5.2可拆卸的钢化玻璃视窗，钢化玻璃厚度≥8mm，视窗与箱体之间的密封使用双层密封。

1.5 3  ≥12个丁基橡胶手套，铝合金手套口（由实心棒材加工而成，原色氧化）

1.5.4  ≥3套箱体照明，具备自动开关功能

1.5.5过渡仓，可拆卸，尺寸：直径≥Φ370mm，长度≥600mm，通过在触摸屏上点触启动按键，过渡舱可自动完成多次抽充程序。

1.5.6 ≥3个小过渡仓，焊接在箱体上，尺寸：直径≤Φ150mm，长度300mm，小过渡舱门杠杆密封，不接受卡扣按压式小仓门。

1.5.7气体纯化柱：≥4个纯化柱

1.5.8 ≥4个显示系统，安装在箱体上

1.5.9循环方式：循环根据设定指标，自动开启和关闭。

1.5. 10百级除尘系统：≥1个，除尘系统上装有空调，控制箱体内温度。

1.5.11泄露率≤0.02vol%/h

1.5.12 H2O≤1ppm ，O2≤1ppm

1.5.13氧分析仪：燃料电池，量程范围：包含0-1000ppm，精度≤0.2ppm。

1.5.14水分析仪：量程范围：包含-100至20露点，屏幕上面ppm和露点自由切换。

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第三章 用户需求书

五、商务要求

★1.1 交货时间：

从中华人民共和国关境内提供的货物：签订合同后 90 天（日历日）内。

★1.1 交货时间：

从中华人民共和国关境内提供的货物：签订合同后 30 天（日历日）内。

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评标信息

技术要求偏离情况

（一）评分内容******委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，所有标注“▲”的重要参数每项负偏离一扣10分，一般参数每负偏离一条扣5分，扣完为止。

（一）评分内容******委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，所有标注“▲”的重要参数每项负偏离一扣12分，一般参数每负偏离一条扣2分，扣完为止。